芯片外观AOI检测设备
设备介绍：
用于半导体微型芯片外观的全自动光学检测，芯片产品六个表面缺陷检测，包括划痕、缺损及凹陷等。
产品功能：
高集成度，充分利用有限空间结构集成6个机械手
广泛的光学项目积累，成熟且高效的软件算法
更换光学检测模组，可适配不同产品尺寸
自动光学检测和识别率为0.015毫米/像素
拍照+检测时间≤120毫秒，UPH为6000-20000
可测量的器件尺寸：2*2毫米-10*10毫米
